专利摘要显示,本申请公开了一种半导体晶圆载流子寿命丈量系统以及方式,该半导体晶圆载流子寿命丈量系统包罗:信号发生器、光源、图像采集模块。信号发生器能够获取光源发光脉冲信号以及图像采集脉冲信号,图像采集脉冲信号的门控时辰和光源发光脉冲信号的使能电平的起始时辰正在光源发光脉冲信号的分歧光脉冲周期存正在分歧的延迟时长,光源能够发生脉冲光束并激发半导体样品发生载流子,图像采集模块能够正在分歧图像采集周期的门控时辰起头采集半导体样品发生的载流子正在复合过程中发出的荧光信号,以此来反映载流子复合衰减过程,通过捕获的荧光信号强度随时间变化的动态衰减特征来丈量载流子寿命,提拔丈量载流子寿命的精确性。
国度学问产权局消息显示,大连创锐光谱仪器设备无限公司申请一项名为“一种半导体晶圆载流子寿命丈量系统以及方式”的专利,公开号CN121385585A,申请日期为2025年9月。